System kontroli i środki ostrożności
● Wieża oczyszczająca ze spalania silanu ze stali nierdzewnej musi zapewniać podciśnienie około 200Pa.
● Awaryjny cylinder spalania musi być zainstalowany za pompą próżniową sprzętu PECVD (patrz schemat blokowy urządzenia).
● Wieża do oczyszczania spalania silanu ze stali nierdzewnej musi przyjąć nowy proces, ekstrakcję powietrza za pomocą dwóch wentylatorów, przy czym jedno użycie jest w trybie gotowości.
● Elektryczny zawór regulacyjny wlotu wentylatora musi być połączony z wentylatorem.
● Przed wlotem powietrza do wentylatora należy zainstalować zawór talerzowy, aby kontrolować podciśnienie w urządzeniu oczyszczającym spalanie silanu.
● Urządzenie do oczyszczania spalania silanu. Wylot świeżego powietrza musi być wyposażony w zawór regulacyjny.
● Odległość 1 ~ 1,5 metra poza złączem rury wlotowej musi być połączona demontowalnym przyłączem, aby zapobiec usuwaniu zanieczyszczeń z komory spalania.