System ten jest wykonany z wysokiej jakości stali nierdzewnej , co zapewnia doskonałą odporność na korozję, długą żywotność i stabilną pracę w trudnych warunkach pracy.
W oparciu o właściwości samozapłonu silanu (SiH₄) w kontakcie z powietrzem , system został zaprojektowany tak, aby w pełni wykorzystać tę reakcję. Kiedy spaliny zawierające silan dostają się do komory spalania , mieszają się z powietrzem i automatycznie zapalają się, całkowicie utleniając i rozkładając niebezpieczne składniki.
Produkty spalania przechodzą następnie przez warstwę wypełniającą , gdzie przepływ gazu jest równomiernie rozprowadzany i dalej schładzany przed wejściem do sekcji płukania natryskowego . W tej komorze spaliny wchodzą w pełny kontakt z neutralną, krążącą cieczą , poddając się procesowi chemicznej neutralizacji, który skutecznie usuwa resztkowe zanieczyszczenia i rozpuszczalne gazy.
Po oczyszczeniu oczyszczony gaz przepływa do jednostki odwadniającej , gdzie wilgoć jest oddzielana i usuwana w celu zapewnienia czystego, suchego spalin. Na koniec oczyszczony gaz jest bezpiecznie odprowadzany do atmosfery przez wysokowydajny wentylator wyciągowy , kończąc w pełni zamknięty i zautomatyzowany proces od spalania do oczyszczania.
Dzięki kompaktowej konstrukcji, stabilnej pracy i doskonałej wydajności oczyszczania system ten nie tylko skutecznie usuwa silan i inne gazy palne, ale także znacznie poprawia bezpieczeństwo, niezawodność i efektywność środowiskową . Służy jako idealne rozwiązanie do oczyszczania spalin w produkcji ogniw słonecznych i procesach półprzewodnikowych CVD.
