Ang Silane Combustion Tower ay isang high-temperature incineration at purification integrated exhaust gas treatment system na partikular na idinisenyo para sa paghawak ng mga mapanganib na specialty process gas tulad ng silane (SiH₄) , na nasusunog, sumasabog, at lubhang nakakalason.

Ang pangunahing prinsipyo ay ganap na mabulok ang high-risk na silane sa hindi nakakapinsalang silicon dioxide (SiO₂) na alikabok at tubig sa pamamagitan ng kontroladong pagkasunog, na sinusundan ng pag-alis ng alikabok at opsyonal na basang pagkayod upang matiyak ang mga sumusunod na emisyon.

Ito ay malawakang ginagamit para sa paggamot ng maubos na gas sa CVD / PECVD at iba pang mga proseso ng vapor deposition sa mga industriya tulad ng:

• Paggawa ng semiconductor

• Produksyon ng solar photovoltaic (PV).

• Paggawa ng LED at display panel

---

I. Pangunahing Prinsipyo

Mga Katangian ng Silane (SiH₄)

Ang Silane (SiH₄) ay isang walang kulay, walang amoy na gas na lubhang nasusunog at pyrophoric , ibig sabihin ay maaari itong kusang mag-apoy kapag nadikit sa hangin.

Ang reaksyon ng pagkasunog nito ay:

SiH₄ + 2O₂ → (Mataas na Temperatura / Self-ignition) → SiO₂ (alikabok) + 2H₂O

Ang reaksyon ay naglalabas ng malaking halaga ng init. Kung hindi makontrol ang konsentrasyon, maaari itong magdulot ng pagsabog. Samakatuwid, ang kinokontrol na pagbabanto at sapilitang pagsunog ay sapilitan.

---

Karaniwang Daloy ng Proseso

1. Pre-Dilution

Ang tambutso na gas ay unang hinaluan ng nitrogen o hangin upang bawasan ang konsentrasyon ng SiH₄ sa ibaba 25% ng Lower Explosive Limit (LEL) , na epektibong inaalis ang panganib ng deflagration o pagsabog.

2. Pagsusunog ng Kamara ng Pagkasunog

Ang diluted na gas ay pumapasok sa isang high-temperature combustion chamber (karaniwan ay higit sa 800°C), nilagyan ng ignition system at flame stabilizer.
Ang Silane ay ganap na na-oxidized sa SiO₂ alikabok at singaw ng tubig.

3. Paglilinis Pagkatapos ng Paggamot

• Cyclone separator + ceramic filter tubes / bag filter system
  Kinukuha ang mga pinong SiO₂ particle upang maiwasan ang pagbara ng pipeline at paglampas sa emisyon.

• Wet scrubbing system (opsyonal)
  Tinatanggal ang mga pangalawang acidic na gas gaya ng HF, HCl, at ammonia (NH₃), na nine-neutralize ang mga ito bago ilabas.

4. Paglabas

Ang nalinis na gas ay pinalalabas sa atmospera sa pamamagitan ng isang sapilitan na draft fan pagkatapos matugunan ang mga pamantayan sa paglabas.

---

II. Mga Pangunahing Tampok at Kalamangan

Mataas na Kaligtasan

• Kinokontrol na pagbabanto upang pamahalaan ang konsentrasyon

• Sistema ng pagsubaybay sa apoy

• Proteksyon sa emergency shutoff
  Epektibong inaalis ang kusang pag-aapoy at mga panganib sa pagsabog.

Mataas na Kahusayan sa Pag-alis

• SiH₄ kahusayan sa agnas ≥ 99.9%

• Ang mga high-end na system ay maaaring umabot sa ≥ 99.99%
  Ganap na nag-aalis ng mga nakakalason at sumasabog na panganib.

Disenyo ng Anti-Clogging

• Multi-stage na pag-alis ng alikabok

• Automatic back-blowing system
  Pinipigilan ang akumulasyon at pagbara na dulot ng SiO₂ powder.

Malakas na Compatibility

May kakayahang gamutin ang halo-halong mga maubos na gas na naglalaman ng:

• SiH₄

• NH₃

• HF
  Angkop para sa tuluy-tuloy na semiconductor at PV production environment.

---

III. Pangunahing Mga Sitwasyon ng Application

• Paggawa ng semiconductor wafer (CVD / PECVD epitaxy, oxidation, deposition process)

• Paggawa ng solar cell at photovoltaic module (crystalline silicon coating at film deposition)

• Paggawa ng LED at display panel (MOCVD, PECVD na mga proseso)

• Iba pang nakabatay sa silicon na thin film at mga espesyal na aplikasyon ng gas

---

IV. Mga Pangunahing Pagsasaalang-alang sa Disenyo at Operasyon

Kaligtasan Una

Dapat kasama sa system ang:

• LEL interlock control

• Pagsubaybay sa apoy

• Alarm sa sobrang temperatura

• Sistema ng paglilinis ng nitrogen

• Emergency na sistema ng bentilasyon

Anti-Clogging bilang Core Focus

• Na-optimize na disenyo ng daloy ng combustion chamber

• Mga materyales sa filter na lumalaban sa mataas na temperatura

• Pana-panahong pag-back-blowing ng pulso
  Pinipigilan ang pag-iipon ng SiO₂ at pagbabara ng system.

Pagpili ng Materyal

• High-temperature zone: Hastelloy o 310S stainless steel

• Scrubbing zone: PP / FRP / fluoropolymer lining
  Tinitiyak ang corrosion resistance at thermal durability.

Operasyon at Pagpapanatili

• Regular na pag-alis ng alikabok

• Inspeksyon ng burner at flame detector

• Pag-calibrate ng mga instrumento sa pagsubaybay
  Tinitiyak ang matatag, tuluy-tuloy na operasyon.

---

Karagdagang Tala

Mga Alternatibong Pangalan

• Silane Combustion Stack

• Silane Emergency Combustion Tower

• Silane Exhaust Incineration at Purification Tower

Pagkakaiba sa Conventional RTO o Incinerators

Hindi tulad ng mga pangkalahatang insinerator ng VOC, ang silane combustion tower ay partikular na ininhinyero para sa mataas na panganib sa pagsabog na SiH₄ gas , na nagbibigay-diin sa:

• Pre-dilution control

• Matatag na pagkasunog

• Anti-clogging

• Pag-iwas sa pagsabog

Pagsunod

Idinisenyo upang sumunod sa:

• Comprehensive Air Pollutant Emission Standards

• Mga Pamantayan sa Pagpapalabas ng Industriya ng Semiconductor
  Ito ang pangunahing sumusunod na solusyon para sa paggamot sa tambutso ng SiH₄.