1. Pangunahing Prinsipyo
Mga katangian ng Silane: Ang SiH₄ ay walang kulay, walang amoy, at lubhang nasusunog. Maaari itong kusang mag-apoy sa hangin (mababang temperatura ng autoignition). Ang reaksyon ng pagkasunog ay:
SiH4 + 2O2 ---mataas na temperatura/autoignition--- SiO2 (dust) + 2H2O
Ang reaksyong ito ay naglalabas ng malaking halaga ng init; kung ang konsentrasyon ay hindi makontrol, madali itong sumabog. Samakatuwid, ang kinokontrol na pagbabanto at sapilitang pagsunog ay kinakailangan.
Proseso ng Paggawa (Karaniwang)
Pre-dilution: Ang tambutso na gas ay unang hinaluan ng nitrogen/hangin upang kontrolin ang konsentrasyon ng SiH₄ sa ibaba 25% ng lower explosive limit (LEL), na inaalis ang panganib ng deflagration.
Pagsunog ng silid ng pagkasunog: Ang timpla ay pumapasok sa isang silid ng pagkasunog na may mataas na temperatura (sa itaas 800 ℃, kadalasang nilagyan ng igniter at flame stabilizer), kung saan ang SiH₄ ay ganap na nasusunog at nabubulok sa SiO₂ na alikabok at singaw ng tubig.
Pagdalisay pagkatapos ng paggamot:
Paghihiwalay ng bagyo + mga ceramic filter tubes/pagkolekta ng alikabok sa baghouse para makuha ang micro-dust ng SiO₂ (pag-iwas sa pagbara at paglabas);
Pag-spray ng pagkayod (opsyonal): Nag-aalis ng mga byproduct na acidic na gas (tulad ng HF, HCl), ammonia, atbp., at nine-neutralize ang mga ito para sa sumusunod na discharge.
Pagpapalabas: Ang purified gas ay pinalalabas sa atmospera sa pamamagitan ng sapilitan na draft fan. II. Mga Pangunahing Tampok at Mga Bentahe
Mataas na Kaligtasan: Kontrol sa dilution + pagsubaybay sa apoy + emergency shutdown, pagtugon sa panganib sa self-ignition/pagsabog ng SiH₄;
High Purification Efficiency: SiH₄ decomposition rate ≥99.9% (hanggang 99.99% para sa mga high-end na modelo), ganap na inaalis ang mga panganib ng lubhang nakakalason at nasusunog na mga sangkap;
Anti-Clogging Design: Multi-stage dust removal + backflushing, paglutas sa problema ng SiO₂ dust na madaling makabara sa mga pipeline/filter na materyales;
Malakas na Kakayahang umangkop: Kakayanin ang mga pinaghalong gas na tambutso na naglalaman ng SiH₄, NH₃, HF, atbp., na tugma sa tuluy-tuloy na mga kondisyon ng produksyon sa mga industriyang semiconductor/photovoltaic.
2. Pangunahing Mga Sitwasyon ng Aplikasyon
Paggawa ng semiconductor wafer (CVD/PECVD epitaxy, oksihenasyon, mga proseso ng deposition);
Mga solar cell/photovoltaic modules (crystalline silicon cell deposition, coating);
LED/display panel (MOCVD, PECVD na mga proseso);
SiH₄ exhaust gas treatment sa iba pang mga industriya tulad ng silicone-based thin films at espesyal na paghahanda ng gas.
3. Pangunahing Disenyo at Mga Puntos sa Pagpapatakbo at Pagpapanatili
Una sa Kaligtasan: Dapat isama ang LEL interlocking, pagsubaybay sa apoy, over-temperature na alarma, nitrogen purging/emergency venting;
Anti-Clogging Core: Makatwirang disenyo ng combustion chamber flow field, pagpili ng high-temperature resistant filter materials + regular na backflushing upang maiwasan ang pag-iipon ng SiO₂;
Pagpili ng Materyal: Hastelloy/310S para sa mga high-temperature zone, PP/FRP/fluorine-lined na materyales para sa washing zone, tinitiyak ang corrosion resistance at high-temperature resistance;
Operasyon at Pagpapanatili: Regular na paglilinis ng alikabok, inspeksyon ng mga burner/flame detector, at pagkakalibrate ng mga instrumento sa pagsubaybay upang matiyak ang tuluy-tuloy at matatag na operasyon. Mga Alyas
ng Karagdagang Impormasyon
: Silane combustion cylinder, silane emergency combustion tower, silane exhaust gas incineration at purification tower;
Pagkakaiba mula sa ordinaryong RTO/incinerators: Partikular na idinisenyo para sa mataas na flammability at panganib ng pagsabog ng SiH₄, na nagbibigay-diin sa pre-dilution, stable combustion, anti-clogging, at pag-iwas sa pagsabog, sa halip na pangkalahatang VOCs incineration;
Pagsunod: Nakakatugon sa mga pamantayan gaya ng 'Comprehensive Emission Standard for Air Pollutants' at 'Emission Standard for Pollutants from the Semiconductor Industry,' na ginagawa itong isang mainstream compliant na solusyon para sa SiH₄ exhaust gas treatment.
Ang absorption tower ay isang pahabang patayong column na gagamitin mo para sa pagsipsip ng mga gas sa iba't ibang industriya. Ito ay kabilang sa industriya ng waste gas treatment.
Mga Industriya na Hinahain:
Acid Mist
Consulting
