سلین کمبشن ٹاور ایک اعلی درجہ حرارت کو جلانے اور پیوریفیکیشن انٹیگریٹڈ ایگزاسٹ گیس ٹریٹمنٹ سسٹم ہے جو خاص طور پر خطرناک اسپیشلٹی پروسیس گیسوں جیسے سائلین (SiH₄) سے نمٹنے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے ، جو آتش گیر، دھماکہ خیز، اور انتہائی زہریلی ہیں۔

بنیادی اصول یہ ہے کہ ہائی رسک سائلین کو مکمل طور پر بے ضرر سلکان ڈائی آکسائیڈ (SiO₂) دھول اور پانی میں کنٹرول شدہ دہن کے ذریعے گلنا، اس کے بعد دھول کو ہٹانا اور اخراج کو یقینی بنانے کے لیے اختیاری گیلی اسکربنگ۔

یہ بڑے پیمانے پر CVD / PECVD اور صنعتوں میں بخارات جمع کرنے کے دیگر عملوں میں ایگزاسٹ گیس ٹریٹمنٹ کے لیے استعمال ہوتا ہے جیسے:

• سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ

• سولر فوٹوولٹک (PV) کی پیداوار

• ایل ای ڈی اور ڈسپلے پینل مینوفیکچرنگ

---

I. بنیادی اصول

سائلین (SiH₄) کی خصوصیات

Silane (SiH₄) ایک بے رنگ، بو کے بغیر گیس ہے جو انتہائی آتش گیر اور پائروفورک ہے ، یعنی ہوا کے ساتھ رابطے پر یہ بے ساختہ بھڑک سکتی ہے۔

اس کا دہن ردعمل ہے:

SiH₄ + 2O₂ → (ہائی ٹمپریچر / سیلف اگنیشن) → SiO₂ (دھول) + 2H₂O

ردعمل گرمی کی ایک بڑی مقدار جاری کرتا ہے. اگر ارتکاز کنٹرول ناکام ہو جاتا ہے، تو یہ دھماکے کا سبب بن سکتا ہے۔ لہٰذا، کنٹرول شدہ کمزوری اور جبری دہن لازمی ہے۔.

---

عام عمل کا بہاؤ

1. پری ڈائلیشن

ایگزاسٹ گیس کو پہلے نائٹروجن یا ہوا کے ساتھ ملایا جاتا ہے تاکہ لوئر ایکسپلوسیو لِمٹ (LEL) کے 25% سے نیچے SiH₄ کے ارتکاز کو کم کیا جا سکے ، جو مؤثر طریقے سے تنزلی یا دھماکے کے خطرے کو ختم کرتا ہے۔

2. کمبشن چیمبر کو جلانا

پتلی گیس ایک اعلی درجہ حرارت دہن چیمبر میں داخل ہوتی ہے (عام طور پر 800 ° C سے اوپر)، ایک اگنیشن سسٹم اور شعلہ سٹیبلائزر سے لیس ہوتا ہے۔
سائلین مکمل طور پر SiO₂ دھول اور پانی کے بخارات میں آکسائڈائز ہو جاتا ہے۔

3. علاج کے بعد طہارت

• سائکلون سیپریٹر + سیرامک ​​فلٹر ٹیوبز/بیگ فلٹر سسٹم
  پائپ لائن میں رکاوٹ اور اخراج کی زیادتی کو روکنے کے لیے باریک SiO₂ ذرات کو پکڑتا ہے۔

• گیلے اسکربنگ سسٹم (اختیاری)
  ثانوی تیزابی گیسوں کو ہٹاتا ہے جیسے HF، HCl، اور امونیا (NH₃)، خارج ہونے سے پہلے انہیں بے اثر کرتا ہے۔

4. خارج ہونا

پیوریفائیڈ گیس کو اخراج کے معیارات پر پورا اترنے کے بعد انڈسڈ ڈرافٹ فین کے ذریعے فضا میں خارج کیا جاتا ہے۔

---

II بنیادی خصوصیات اور فوائد

ہائی سیفٹی

• ارتکاز کو منظم کرنے کے لیے کنٹرول شدہ کمزوری۔

• شعلہ نگرانی کا نظام

• ایمرجنسی شٹ آف پروٹیکشن
  بے ساختہ اگنیشن اور دھماکے کے خطرات کو مؤثر طریقے سے ختم کرتا ہے۔

اعلی ہٹانے کی کارکردگی

• SiH₄ سڑنے کی کارکردگی ≥ 99.9%

• اعلی درجے کے نظام ≥ 99.99% تک پہنچ سکتے ہیں
  جو زہریلے اور دھماکہ خیز خطرات کو مکمل طور پر ہٹا دیتے ہیں۔

اینٹی کلاگنگ ڈیزائن

• ملٹی اسٹیج دھول ہٹانا

• خودکار بیک اڑانے والا نظام
  SiO₂ پاؤڈر کی وجہ سے جمع ہونے اور رکاوٹ کو روکتا ہے۔

مضبوط مطابقت

مخلوط اخراج گیسوں کے علاج کے قابل جن میں شامل ہیں:

• SiH₄

• NH₃

• HF
  مسلسل سیمی کنڈکٹر اور پی وی پروڈکشن ماحول کے لیے موزوں ہے۔

---

III اہم درخواست کے منظرنامے۔

• سیمی کنڈکٹر ویفر مینوفیکچرنگ (CVD / PECVD ایپیٹیکسی، آکسیکرن، جمع کرنے کے عمل)

• سولر سیل اور فوٹوولٹک ماڈیول کی تیاری (کرسٹل لائن سلکان کوٹنگ اور فلم جمع)

• ایل ای ڈی اور ڈسپلے پینل مینوفیکچرنگ (MOCVD، PECVD عمل)

• دیگر سلکان پر مبنی پتلی فلم اور خصوصی گیس ایپلی کیشنز

---

چہارم کلیدی ڈیزائن اور آپریشن کے تحفظات

سیفٹی فرسٹ

نظام میں شامل ہونا ضروری ہے:

• LEL انٹر لاک کنٹرول

• شعلے کی نگرانی

• زیادہ درجہ حرارت کا الارم

• نائٹروجن صاف کرنے کا نظام

• ایمرجنسی وینٹنگ سسٹم

ایک بنیادی فوکس کے طور پر اینٹی کلاگنگ

• آپٹمائزڈ کمبشن چیمبر فلو ڈیزائن

• اعلی درجہ حرارت مزاحم فلٹر مواد

• وقفے وقفے سے پلس بیک بلونگ
  SiO₂ کے جمع ہونے اور سسٹم میں رکاوٹ کو روکتی ہے۔

مواد کا انتخاب

• ہائی ٹمپریچر زون: ہیسٹیلائے یا 310S سٹینلیس سٹیل

• اسکربنگ زون: پی پی / ایف آر پی / فلورو پولیمر استر
  سنکنرن مزاحمت اور تھرمل استحکام کو یقینی بناتا ہے۔

آپریشن اور دیکھ بھال

• باقاعدگی سے دھول ہٹانا

• برنر اور شعلہ پکڑنے والا معائنہ

• نگرانی کے آلات کا انشانکن
  مستحکم، مسلسل آپریشن کو یقینی بناتا ہے۔

---

اضافی نوٹس

متبادل نام

• سائلین کمبشن اسٹیک

• سائلین ایمرجنسی کمبشن ٹاور

• سلین ایگزاسٹ انسینریشن اور پیوریفیکیشن ٹاور

روایتی RTO یا incinerators سے فرق

عام VOC بھڑکانے والوں کے برعکس، سائلین کمبشن ٹاور کو خاص طور پر ہائی دھماکے کے خطرے والی SiH₄ گیسوں کے لیے بنایا گیا ہے ، جس پر زور دیا گیا ہے:

• پری ڈیلیشن کنٹرول

• مستحکم دہن

• مخالف clogging

• دھماکے کی روک تھام

تعمیل

کی تعمیل کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے:

• جامع فضائی آلودگی کے اخراج کے معیارات

• سیمی کنڈکٹر انڈسٹری کے اخراج کے معیارات
  یہ SiH₄ ایگزاسٹ ٹریٹمنٹ کے لیے مرکزی دھارے کے مطابق حل ہے۔