Silane Combustion Tower adalah sistem pengolahan gas buang terintegrasi insinerasi dan pemurnian suhu tinggi yang dirancang khusus untuk menangani gas proses khusus yang berbahaya seperti silan (SiH₄) , yang mudah terbakar, meledak, dan sangat beracun.

Prinsip intinya adalah menguraikan silan berisiko tinggi secara menyeluruh menjadi debu dan air silikon dioksida (SiO₂) yang tidak berbahaya melalui pembakaran terkontrol, diikuti dengan penghilangan debu dan pembersihan basah opsional untuk memastikan emisi yang sesuai.

Ini banyak digunakan untuk pengolahan gas buang di CVD / PECVD dan proses pengendapan uap lainnya di industri seperti:

• Manufaktur semikonduktor

• Produksi fotovoltaik surya (PV).

• Pembuatan LED dan panel display

---

I. Prinsip Inti

Karakteristik Silana (SiH₄)

Silana (SiH₄) adalah gas tidak berwarna dan tidak berbau yang sangat mudah terbakar dan bersifat piroforik , artinya dapat terbakar secara spontan jika bersentuhan dengan udara.

Reaksi pembakarannya adalah:

SiH₄ + 2O₂ → (Suhu Tinggi / Menyala sendiri) → SiO₂ (debu) + 2H₂O

Reaksi melepaskan sejumlah besar panas. Jika kontrol konsentrasi gagal, hal ini dapat menyebabkan ledakan. Oleh karena itu, pengenceran terkontrol dan pembakaran paksa adalah suatu keharusan.

---

Alur Proses Khas

1. Pra-Pengenceran

Gas buang pertama-tama dicampur dengan nitrogen atau udara untuk mengurangi konsentrasi SiH₄ di bawah 25% dari Batas Peledak Bawah (LEL) , sehingga secara efektif menghilangkan risiko deflagrasi atau ledakan.

2. Insinerasi Ruang Pembakaran

Gas yang diencerkan memasuki ruang pembakaran bersuhu tinggi (biasanya di atas 800°C), dilengkapi dengan sistem pengapian dan penstabil api.
Silana teroksidasi sempurna menjadi debu SiO₂ dan uap air.

3. Pemurnian Pasca Perawatan

• Pemisah siklon + tabung filter keramik / sistem bag filter
  Menangkap partikel halus SiO₂ untuk mencegah penyumbatan pipa dan kelebihan emisi.

• Sistem scrubbing basah (opsional)
  Menghilangkan gas asam sekunder seperti HF, HCl, dan amonia (NH₃), menetralkannya sebelum dibuang.

4. Pembuangan

Gas yang dimurnikan dibuang ke atmosfer melalui kipas angin setelah memenuhi standar emisi.

---

II. Fitur & Keunggulan Inti

Keamanan Tinggi

• Pengenceran terkontrol untuk mengatur konsentrasi

• Sistem pemantauan api

• Perlindungan pemadaman darurat
  Secara efektif menghilangkan risiko penyalaan dan ledakan spontan.

Efisiensi Penghapusan Tinggi

• Efisiensi penguraian SiH₄ ≥ 99,9%

• Sistem kelas atas dapat mencapai ≥ 99,99%
  Menghilangkan sepenuhnya bahaya racun dan ledakan.

Desain Anti-Penyumbatan

• Penghapusan debu multi-tahap

• Sistem peniupan balik otomatis
  Mencegah akumulasi dan penyumbatan yang disebabkan oleh bubuk SiO₂.

Kompatibilitas yang Kuat

Mampu mengolah gas buang campuran yang mengandung :

• SiH₄

• NH₃

• HF
  Cocok untuk lingkungan produksi semikonduktor dan PV berkelanjutan.

---

AKU AKU AKU. Skenario Aplikasi Utama

• Pembuatan wafer semikonduktor (epitaksi CVD / PECVD, oksidasi, proses pengendapan)

• Produksi sel surya dan modul fotovoltaik (pelapisan silikon kristal dan deposisi film)

• Pembuatan LED dan panel layar (proses MOCVD, PECVD)

• Aplikasi film tipis dan gas khusus berbasis silikon lainnya

---

IV. Pertimbangan Desain & Pengoperasian Utama

Keselamatan Pertama

Sistem harus mencakup:

• Kontrol interlock LEL

• Pemantauan api

• Alarm suhu berlebih

• Sistem pembersihan nitrogen

• Sistem ventilasi darurat

Anti-Penyumbatan sebagai Fokus Inti

• Desain aliran ruang bakar yang dioptimalkan

• Bahan filter tahan suhu tinggi

• Denyut balik secara berkala
  Mencegah akumulasi SiO₂ dan penyumbatan sistem.

Pemilihan Bahan

• Zona suhu tinggi: Baja tahan karat Hastelloy atau 310S

• Zona penggosokan: Lapisan PP / FRP / fluoropolimer
  Memastikan ketahanan terhadap korosi dan ketahanan termal.

Pengoperasian & Pemeliharaan

• Penghapusan debu secara teratur

• Inspeksi pembakar dan detektor api

• Kalibrasi instrumen pemantauan
  Memastikan pengoperasian yang stabil dan berkelanjutan.

---

Catatan Tambahan

Nama Alternatif

• Tumpukan Pembakaran Silana

• Menara Pembakaran Darurat Silane

• Menara Insinerasi & Pemurnian Knalpot Silane

Beda dengan RTO Konvensional atau Incinerator

Tidak seperti insinerator VOC pada umumnya, menara pembakaran silan dirancang khusus untuk gas SiH₄ yang berisiko ledakan tinggi , dengan menekankan:

• Kontrol pra-pengenceran

• Pembakaran yang stabil

• Anti-penyumbatan

• Pencegahan ledakan

Kepatuhan

Dirancang untuk mematuhi:

• Standar Emisi Pencemar Udara yang Komprehensif

• Standar Emisi Industri Semikonduktor
  Ini adalah solusi yang sesuai dengan standar umum untuk pengolahan gas buang SiH₄.