Silan Yanma Kulesi gibi tehlikeli özel proses gazlarını işlemek için özel olarak tasarlanmış, yüksek sıcaklıkta yakma ve arıtma entegre egzoz gazı arıtma sistemidir . silan (SiH₄) , yanıcı, patlayıcı ve son derece toksik olan

Temel prensip, yüksek riskli silanın kontrollü yanma yoluyla tamamen zararsız ayrıştırılması silikon dioksit (SiO₂) tozuna ve suya , ardından uyumlu emisyonların sağlanması için toz giderme ve isteğe bağlı ıslak temizlemenin yapılmasıdır.

yaygın olarak kullanılır : CVD / PECVD'de egzoz gazı arıtımında ve aşağıdaki endüstrilerdeki diğer buhar biriktirme işlemlerinde

• Yarı iletken üretimi

• Güneş fotovoltaik (PV) üretimi

• LED ve gösterge paneli imalatı

---

I. Temel Prensip

Silanın (SiH₄) Özellikleri

Silan (SiH₄), son derece yanıcı ve olan, renksiz, kokusuz bir gazdır piroforik ; yani havayla temas ettiğinde kendiliğinden tutuşabilir.

Yanma reaksiyonu şu şekildedir:

SiH₄ + 2O₂ → (Yüksek Sıcaklık / Kendiliğinden Tutuşma) → SiO₂ (toz) + 2H₂O

Reaksiyon büyük miktarda ısı açığa çıkarır. Konsantrasyon kontrolü başarısız olursa patlamaya neden olabilir. Bu nedenle kontrollü seyreltme ve cebri yakma zorunludur..

---

Tipik Süreç Akışı

1. Ön Seyreltme

Egzoz gazı önce SiH₄ konsantrasyonunu altına düşürmek için nitrojen veya hava ile karıştırılır Alt Patlama Sınırının (LEL) %25'inin , böylece parlama veya patlama riski etkili bir şekilde ortadan kaldırılır.

2. Yanma Odasının Yakılması

Seyreltilmiş gaz, bir ateşleme sistemi ve alev dengeleyici ile donatılmış, yüksek sıcaklıktaki (tipik olarak 800°C'nin üzerinde) bir yanma odasına girer.
Silan tamamen SiO₂ tozu ve su buharına oksitlenir.

3. Tedavi Sonrası Arıtma

• Siklon ayırıcı + seramik filtre tüpleri / torba filtre sistemi
  Boru hattının tıkanmasını ve emisyon aşımını önlemek için ince SiO₂ parçacıklarını yakalar.

• Islak temizleme sistemi (isteğe bağlı)
  HF, HCl ve amonyak (NH₃) gibi ikincil asidik gazları gidererek bunları deşarjdan önce nötralize eder.

4. Deşarj

Arıtılan gaz, emisyon standartlarını karşıladıktan sonra indüksiyonlu bir çekiş fanı aracılığıyla atmosfere boşaltılır.

---

II. Temel Özellikler ve Avantajlar

Yüksek Güvenlik

• Konsantrasyonu yönetmek için kontrollü seyreltme

• Alev izleme sistemi

• Acil kapatma koruması
  Ani tutuşma ve patlama risklerini etkili bir şekilde ortadan kaldırır.

Yüksek Temizleme Verimliliği

• SiH₄ ayrışma verimliliği ≥ %99,9

• Üst düzey sistemler ≥ %99,99'a ulaşabilir.
  Toksik ve patlayıcı tehlikeleri tamamen ortadan kaldırır.

Tıkanmayı Önleyici Tasarım

• Çok aşamalı toz giderme

• Otomatik geri üfleme sistemi
  SiO₂ tozunun neden olduğu birikim ve tıkanmayı önler.

Güçlü Uyumluluk

Aşağıdakileri içeren karışık egzoz gazlarını arıtabilir:

• SiH₄

• NH₃

• HF
  Sürekli yarı iletken ve PV üretim ortamları için uygundur.

---

III. Başlıca Uygulama Senaryoları

• Yarı iletken levha üretimi (CVD / PECVD epitaksi, oksidasyon, biriktirme işlemleri)

• Güneş pili ve fotovoltaik modül üretimi (kristalin silikon kaplama ve film biriktirme)

• LED ve gösterge paneli imalatı (MOCVD, PECVD prosesleri)

• Diğer silikon bazlı ince film ve özel gaz uygulamaları

---

IV. Temel Tasarım ve Operasyon Hususları

Önce Güvenlik

Sistem şunları içermelidir:

• LEL kilitleme kontrolü

• Alev izleme

• Aşırı sıcaklık alarmı

• Azot temizleme sistemi

• Acil havalandırma sistemi

Temel Odak Noktası Olarak Tıkanmayı Önleme

• Optimize edilmiş yanma odası akış tasarımı

• Yüksek sıcaklığa dayanıklı filtre malzemeleri

• Periyodik darbe geri üfleme
  SiO₂ birikimini ve sistem tıkanmasını önler.

Malzeme Seçimi

• Yüksek sıcaklık bölgesi: Hastelloy veya 310S paslanmaz çelik

• Fırçalama bölgesi: PP / FRP / floropolimer astar
  Korozyona dayanıklılık ve termal dayanıklılık sağlar.

İşletme ve Bakım

• Düzenli toz giderme

• Brülör ve alev dedektörü muayenesi

• İzleme cihazlarının kalibrasyonu
  Kararlı, sürekli çalışmayı sağlar.

---

Ek Notlar

Alternatif İsimler

• Silan Yanma Yığını

• Silan Acil Yanma Kulesi

• Silan Egzoz Yakma ve Arıtma Kulesi

Geleneksel RTO veya Yakma Fırınlarından Farkı

Genel VOC yakma fırınlarından farklı olarak silan yakma kulesi, için özel olarak tasarlanmıştır yüksek patlama riski taşıyan SiH₄ gazları ve şunları vurgular:

• Ön seyreltme kontrolü

• Kararlı yanma

• Tıkanma önleyici

• Patlama önleme

Uyumluluk

Aşağıdakilere uyacak şekilde tasarlanmıştır:

• Kapsamlı Hava Kirletici Emisyon Standartları

• Yarı İletken Endüstrisi Emisyon Standartları
  SiH₄ egzoz işlemine yönelik genel uyumlu çözümdür.