Lượt xem: 187 Tác giả: Site Editor Thời gian xuất bản: 2026-02-06 Nguồn gốc: Địa điểm
Tháp đốt Silane là hệ thống xử lý khí thải tích hợp đốt và lọc ở nhiệt độ cao được thiết kế đặc biệt để xử lý các loại khí xử lý đặc biệt nguy hiểm như silane (SiH₄) , dễ cháy, nổ và có độc tính cao.
Nguyên tắc cốt lõi là phân hủy hoàn toàn silan có nguy cơ cao thành bụi và nước silicon dioxide (SiO₂) vô hại thông qua quá trình đốt cháy có kiểm soát, sau đó là loại bỏ bụi và chà ướt tùy chọn để đảm bảo lượng khí thải tuân thủ.
Nó được sử dụng rộng rãi để xử lý khí thải trong CVD/PECVD và các quá trình lắng đọng hơi khác trong các ngành công nghiệp như:
Sản xuất chất bán dẫn
Sản xuất quang điện mặt trời (PV)
Sản xuất bảng đèn LED và màn hình
Silane (SiH₄) là một loại khí không màu, không mùi, cực kỳ dễ cháy và tự cháy , nghĩa là nó có thể tự bốc cháy khi tiếp xúc với không khí.
Phản ứng đốt cháy của nó là:
SiH₄ + 2O₂ → (Nhiệt độ cao / Tự bốc cháy) → SiO₂ (bụi) + 2H₂O
Phản ứng tỏa ra một lượng nhiệt lớn. Nếu kiểm soát nồng độ không thành công, nó có thể gây nổ. Vì vậy, việc pha loãng có kiểm soát và đốt cháy cưỡng bức là bắt buộc..
Trước tiên, khí thải được trộn với nitơ hoặc không khí để giảm nồng độ SiH₄ xuống dưới 25% Giới hạn nổ dưới (LEL) , loại bỏ hiệu quả nguy cơ cháy nổ hoặc nổ.
Khí pha loãng đi vào buồng đốt ở nhiệt độ cao (thường trên 800°C), được trang bị hệ thống đánh lửa và bộ ổn định ngọn lửa.
Silane bị oxy hóa hoàn toàn thành bụi SiO₂ và hơi nước.
Máy tách lốc xoáy + ống lọc gốm/hệ thống lọc túi
Giữ lại các hạt SiO₂ mịn để tránh tắc nghẽn đường ống và vượt quá mức phát thải.
Hệ thống chà ướt (tùy chọn)
Loại bỏ các khí axit thứ cấp như HF, HCl và amoniac (NH₃), trung hòa chúng trước khi xả.
Khí tinh khiết được thải vào khí quyển thông qua quạt hút cảm ứng sau khi đáp ứng các tiêu chuẩn khí thải.
Kiểm soát pha loãng để quản lý nồng độ
Hệ thống giám sát ngọn lửa
Bảo vệ ngắt khẩn cấp
Loại bỏ hiệu quả các nguy cơ cháy nổ tự phát.
Hiệu suất phân hủy SiH₄ ≥ 99,9%
Hệ thống cao cấp có thể đạt ≥ 99,99%
Loại bỏ hoàn toàn các nguy cơ độc hại, cháy nổ.
Loại bỏ bụi nhiều giai đoạn
Hệ thống thổi ngược tự động
Ngăn chặn sự tích tụ và tắc nghẽn do bột SiO₂ gây ra.
Có khả năng xử lý khí thải hỗn hợp có chứa:
SiH₄
NH₃
HF
Thích hợp cho môi trường sản xuất chất bán dẫn và quang điện liên tục.
Sản xuất wafer bán dẫn (các quá trình epitaxy CVD / PECVD, quá trình oxy hóa, lắng đọng)
Sản xuất pin mặt trời và mô-đun quang điện (lớp phủ silicon tinh thể và lắng đọng màng)
Sản xuất đèn LED và bảng hiển thị (quy trình MOCVD, PECVD)
Các ứng dụng màng mỏng và khí đặc biệt dựa trên silicon khác
Hệ thống phải bao gồm:
Kiểm soát khóa liên động LEL
Giám sát ngọn lửa
Báo động quá nhiệt
Hệ thống lọc nitơ
Hệ thống thông gió khẩn cấp
Thiết kế dòng chảy buồng đốt tối ưu
Vật liệu lọc chịu nhiệt độ cao
Xung thổi ngược định kỳ
Ngăn chặn sự tích tụ SiO₂ và tắc nghẽn hệ thống.
Vùng nhiệt độ cao: Thép không gỉ Hastelloy hoặc 310S
Vùng chà: Lớp lót PP / FRP / fluoropolymer
Đảm bảo khả năng chống ăn mòn và độ bền nhiệt.
Loại bỏ bụi thường xuyên
Kiểm tra đầu đốt và đầu dò ngọn lửa
Hiệu chuẩn các thiết bị giám sát
Đảm bảo hoạt động ổn định, liên tục.
Đốt cháy Silane
Tháp đốt khẩn cấp Silane
Tháp đốt và lọc khí thải Silane
Không giống như các lò đốt VOC thông thường, tháp đốt silane được thiết kế đặc biệt cho các loại khí SiH₄ có nguy cơ cháy nổ cao , nhấn mạnh:
Kiểm soát tiền pha loãng
Đốt cháy ổn định
Chống tắc nghẽn
Phòng chống cháy nổ
Được thiết kế để tuân thủ:
Tiêu chuẩn phát thải ô nhiễm không khí toàn diện
Tiêu chuẩn phát thải của ngành bán dẫn
Đây là giải pháp tuân thủ chủ đạo để xử lý khí thải SiH₄.
