Wykorzystując komorę spalania o wysokiej temperaturze, system zapala silan i jego pochodne w środowisku kontrolowanego płomienia, przekształcając je w nieszkodliwe produkty uboczne, takie jak dwutlenek krzemu (SiO₂) i para wodna. Konstrukcja zapewnia stabilną kontrolę płomienia, szybki rozkład silanu i całkowite spalanie, aby zapobiec niebezpieczeństwu wybuchu.
Opcjonalne komponenty obejmują przerywacze płomienia, automatyczne sterowniki zapłonu, nadmiarowe zawory bezpieczeństwa, strefy chłodzenia oraz dalsze etapy filtracji lub płukania.
Cechy:
Wysoka sprawność cieplna przy całkowitym rozkładzie silanu
Ognioszczelna konstrukcja z wielowarstwowymi zabezpieczeniami
Modułowa integracja z szafami na gaz silanowy i systemami próżniowymi
Dostępne w układach pionowych lub poziomych
Aplikacje:
Linie do produkcji krzemu fotowoltaicznego
Zakłady produkujące półprzewodniki PECVD i CVD
Stacje napełniania i odzyskiwania gazów specjalnych
Układy wydechowe do produkcji polikrzemu