Hyödyntämällä korkean lämpötilan polttokammiota, järjestelmä sytyttää silaanin ja sen johdannaiset hallitussa liekissä ja muuttaa ne vaarattomiksi sivutuotteiksi, kuten piidioksidiksi (SiO₂) ja vesihöyryksi. Rakenne varmistaa vakaan liekinhallinnan, nopean silaanin hajoamisen ja täydellisen palamisen räjähdysvaaran estämiseksi.
Valinnaisia komponentteja ovat liekinsammuttimet, automaattiset sytytyssäätimet, redundantit varoventtiilit, jäähdytysvyöhykkeet ja alavirran suodatus- tai pesuvaiheet.
Ominaisuudet:
Korkea lämpötehokkuus täydellisellä silaanin hajoamisella
Tulenkestävä muotoilu monikerroksisilla turvasuojaimilla
Modulaarinen integrointi silaanikaasukaappien ja tyhjiöjärjestelmien kanssa
Saatavana pysty- tai vaaka-asetteluina
Sovellukset:
Aurinkosähköpiin tuotantolinjat
PECVD- ja CVD-puolijohteiden valmistustilat
Erikoiskaasun täyttö- ja talteenottoasemat
Polypiin valmistus pakojärjestelmät