Utilizando uma câmara de combustão de alta temperatura, o sistema inflama o silano e seus derivados em um ambiente de chama controlada, convertendo-os em subprodutos inofensivos, como dióxido de silício (SiO₂) e vapor de água. O design garante controle estável da chama, rápida decomposição do silano e combustão completa para evitar riscos de explosão.
Os componentes opcionais incluem corta-chamas, controladores de ignição automática, válvulas de segurança redundantes, zonas de resfriamento e estágios de filtragem ou lavagem a jusante.
Características:
Alta eficiência térmica com decomposição completa do silano
Design à prova de chamas com proteções de segurança em várias camadas
Integração modular com gabinetes de gás silano e sistemas de vácuo
Disponível em layouts verticais ou horizontais
Aplicações:
Linhas de produção de silício fotovoltaico
Instalações de fabricação de semicondutores PECVD e CVD
Estações de enchimento e recuperação de gases especiais
Sistemas de exaustão de fabricação de polissilício