Yüksek sıcaklıkta bir yanma odası kullanan sistem, silan ve türevlerini kontrollü bir alev ortamında ateşleyerek bunları silikon dioksit (SiO₂) ve su buharı gibi zararsız yan ürünlere dönüştürür. Tasarım, patlama tehlikelerini önlemek için kararlı alev kontrolü, hızlı silan ayrışması ve tam yanma sağlar.
İsteğe bağlı bileşenler arasında alev tutucular, otomatik ateşleme kontrolörleri, yedek emniyet valfleri, soğutma bölgeleri ve aşağı akış filtreleme veya fırçalama aşamaları bulunur.
Özellikler:
Tam silan ayrışmasıyla yüksek termal verimlilik
Çok katmanlı güvenlik korumalarıyla aleve dayanıklı tasarım
Silan gaz dolapları ve vakum sistemleriyle modüler entegrasyon
Dikey veya yatay düzenlerde mevcuttur
Uygulamalar:
Fotovoltaik silikon üretim hatları
PECVD ve CVD yarı iletken üretim tesisleri
Özel gaz dolum ve geri kazanım istasyonları
Polisilikon imalat egzoz sistemleri