Sistema de tratamiento de combustión de gases residuales de silano

Utilizando una cámara de combustión de alta temperatura, el sistema enciende el silano y sus derivados en un ambiente de llama controlada, convirtiéndolos en subproductos inofensivos como dióxido de silicio (SiO₂) y vapor de agua. El diseño garantiza un control estable de la llama, una rápida descomposición del silano y una combustión completa para evitar riesgos de explosión.

Los componentes opcionales incluyen apagallamas, controladores de encendido automático, válvulas de seguridad redundantes, zonas de enfriamiento y etapas de filtración o depuración aguas abajo.

Características:

• Alta eficiencia térmica con descomposición completa del silano.

• Diseño ignífugo con protecciones de seguridad multicapa.

• Integración modular con armarios de gas silano y sistemas de vacío.

• Disponible en diseños verticales u horizontales

Aplicaciones:

• Líneas de producción de silicio fotovoltaico.

• Instalaciones de fabricación de semiconductores PECVD y CVD

• Estaciones de llenado y recuperación de gases especiales

• Sistemas de escape de fabricación de polisilicio.

1. Descripción del sistema de tratamiento de combustión de gases residuales de silano

2. Modelos de productos principales

3. Embalaje y envío

Podemos embalarlo por palet o según los requisitos específicos del cliente.

Puerto: Shanghái/Ningbo

4. Nuestros servicios

Para garantizar que los clientes puedan operar completamente la máquina, si el cliente lo necesita, podemos ayudarlo con la capacitación del cliente, que incluye:
(1) Modo de operación correcto
(2) Modo de mantenimiento correcto
(3) Control de proceso tecnológico correcto
(4) Eliminación de problemas simples

Cualquier duda por favor contáctenos.