1. بنیادی اصول
سائلین کی خصوصیات: SiH₄ بے رنگ، بو کے بغیر، اور انتہائی آتش گیر ہے۔ یہ ہوا میں بے ساختہ بھڑک سکتا ہے (کم آٹو اگنیشن درجہ حرارت)۔ دہن کا رد عمل یہ ہے:
SiH4 + 2O2 --- اعلی درجہ حرارت/آٹو اگنیشن--- SiO2 (دھول) + 2H2O
یہ رد عمل بڑی مقدار میں حرارت جاری کرتا ہے۔ اگر ارتکاز بے قابو ہو تو یہ آسانی سے پھٹ سکتا ہے۔ لہٰذا، کنٹرول میں کمی اور جبری دہن ضروری ہے۔
کام کرنے کا عمل (عام)
پری ڈائلیشن: خارج ہونے والی گیس کو سب سے پہلے نائٹروجن/ہوا کے ساتھ ملایا جاتا ہے تاکہ کم دھماکہ خیز حد (LEL) کے 25% سے نیچے SiH₄ کی ارتکاز کو کنٹرول کیا جا سکے، جس سے تنزلی کا خطرہ ختم ہو جاتا ہے۔
دہن کے چیمبر کو جلانا: مرکب ایک اعلی درجہ حرارت والے دہن والے چیمبر میں داخل ہوتا ہے (800 ℃ سے اوپر، عام طور پر ایک igniter اور شعلہ سٹیبلائزر سے لیس ہوتا ہے)، جہاں SiH₄ مکمل طور پر جل جاتا ہے اور SiO₂ دھول اور پانی کے بخارات میں گل جاتا ہے۔
علاج کے بعد صاف کرنا:
سائکلون سیپریشن + سیرامک فلٹر ٹیوبز/بیگ ہاؤس ڈسٹ اکٹھا کرنا تاکہ SiO₂ مائیکرو ڈسٹ (روکاوٹ اور اخراج کو روکنا) پر قبضہ کیا جا سکے۔
سپرے اسکربنگ (اختیاری): ضمنی پروڈکٹ تیزابی گیسوں (جیسے HF، HCl)، امونیا، وغیرہ کو ہٹاتا ہے، اور ان کو مطابقت پذیر خارج کرنے کے لیے بے اثر کرتا ہے۔
اخراج: پیوریفائیڈ گیس کو ایک انڈسڈ ڈرافٹ فین کے ذریعے فضا میں خارج کیا جاتا ہے۔ II بنیادی خصوصیات اور فوائد
ہائی سیفٹی: ڈائلیشن کنٹرول + فلیم مانیٹرنگ + ایمرجنسی شٹ ڈاؤن، سی ایچ ₄ کے سیلف اگنیشن/دھماکے کے خطرے سے نمٹنا؛
اعلی طہارت کی کارکردگی: SiH₄ سڑنے کی شرح ≥99.9% (اعلی درجے کے ماڈلز کے لیے 99.99% تک)، انتہائی زہریلے اور آتش گیر مادوں کے خطرات کو مکمل طور پر ختم کرنا؛
اینٹی کلاگنگ ڈیزائن: ملٹی اسٹیج ڈسٹ ریموول + بیک فلشنگ، SiO₂ ڈسٹ کے مسئلے کو آسانی سے بند کرنے والی پائپ لائنز/فلٹر میٹریل کو حل کرنا۔
مضبوط موافقت: SiH₄، NH₃، HF، وغیرہ پر مشتمل مخلوط اخراج گیسوں کو سنبھال سکتا ہے، جو سیمی کنڈکٹر/فوٹو وولٹک صنعتوں میں مسلسل پیداواری حالات کے ساتھ مطابقت رکھتا ہے۔
2. اہم درخواست کے منظرنامے۔
سیمی کنڈکٹر ویفر مینوفیکچرنگ (CVD/PECVD ایپیٹیکسی، آکسیکرن، جمع کرنے کے عمل)؛
شمسی خلیات/فوٹوولٹک ماڈیولز (کرسٹل لائن سلکان سیل جمع، کوٹنگ)؛
ایل ای ڈی/ڈسپلے پینلز (MOCVD، PECVD عمل)؛
SiH₄ دیگر صنعتوں میں ایگزاسٹ گیس ٹریٹمنٹ جیسے سلکان پر مبنی پتلی فلمیں اور گیس کی خصوصی تیاری۔
3. کلیدی ڈیزائن اور آپریشن اور مینٹیننس پوائنٹس
سیفٹی پہلے: LEL انٹر لاکنگ، شعلے کی نگرانی، زیادہ درجہ حرارت کا الارم، نائٹروجن صاف کرنا/ایمرجنسی وینٹنگ شامل کرنا ضروری ہے۔
اینٹی کلاگنگ کور: کمبشن چیمبر فلو فیلڈ کا معقول ڈیزائن، اعلی درجہ حرارت کے مزاحم فلٹر مواد کا انتخاب + SiO₂ جمع ہونے سے روکنے کے لیے باقاعدہ بیک فلشنگ؛
مواد کا انتخاب: ہائی ٹمپریچر زونز کے لیے Hastelloy/310S، PP/FRP/فلورین لائن والے میٹریل واشنگ زونز کے لیے، سنکنرن مزاحمت اور اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت کو یقینی بنانا؛
آپریشن اور دیکھ بھال: مستقل اور مستحکم آپریشن کو یقینی بنانے کے لیے دھول کی باقاعدہ صفائی، برنرز/شعلہ پکڑنے والوں کا معائنہ، اور نگرانی کے آلات کی انشانکن۔
اضافی معلومات
کے عرفی نام: سائلین کمبسشن سلنڈر، سائلین ایمرجنسی کمبشن ٹاور، سائلین ایگزاسٹ گیس انسینیریشن اور پیوریفیکیشن ٹاور؛
عام RTO/جلا دینے والوں سے فرق: خاص طور پر SiH₄ کے اعلی آتش گیریت اور دھماکے کے خطرے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے، عام VOCs جلانے کے بجائے پہلے سے کم کرنے، مستحکم دہن، اینٹی کلاگنگ، اور دھماکے سے بچاؤ پر زور دیتا ہے۔
تعمیل: 'جامع اخراج معیار برائے فضائی آلودگی' اور 'سیمی کنڈکٹر انڈسٹری سے آلودگی کے لیے اخراج کے معیار' جیسے معیارات پر پورا اترتا ہے، جو اسے SiH₄ ایگزاسٹ گیس ٹریٹمنٹ کے لیے مرکزی دھارے کے مطابق حل کرتا ہے۔
ایک جذب ٹاور ایک لمبا عمودی کالم ہے جسے آپ مختلف صنعتوں میں گیسوں کو جذب کرنے کے لیے استعمال کریں گے۔ اس کا تعلق صنعتی فضلہ گیس کے علاج سے ہے۔
صنعتیں پیش کی گئیں:
ایسڈ مسٹ
کنسلٹنگ
