1. Perusperiaate
Silaanin ominaisuudet: SiH₄ on väritöntä, hajutonta ja helposti syttyvää. Se voi syttyä itsestään ilmassa (matala itsesyttymislämpötila). Palamisreaktio on:
SiH4 + 2O2 ---korkea lämpötila/itsesyttyminen--- SiO2 (pöly) + 2H2O
Tämä reaktio vapauttaa suuren määrän lämpöä; jos pitoisuus on hallitsematon, se voi helposti räjähtää. Siksi hallittu laimennus ja pakkopoltto ovat välttämättömiä.
Työskentelyprosessi (tyypillinen)
Esilaimennus: Pakokaasu sekoitetaan ensin typen/ilman kanssa, jotta SiH₄-pitoisuus pysyy alle 25 % alemmasta räjähdysrajasta (LEL), mikä eliminoi syttymisvaaran.
Polttokammiopoltto: Seos menee korkean lämpötilan polttokammioon (yli 800 ℃, yleensä varustettu sytyttimellä ja liekinvakaimella), jossa SiH₂ palaa kokonaan ja hajoaa SiO₂-pölyksi ja vesihöyryksi.
Jälkipuhdistus:
Syklonierotus + keraamiset suodatinputket/pussihuoneen pölynkeräys SiO₂-mikropölyn talteenottamiseksi (estää tukkeutumisen ja päästöt);
Suihkupesu (valinnainen): Poistaa sivutuotteen happamat kaasut (kuten HF, HCl), ammoniakin jne. ja neutraloi ne vaatimustenmukaista purkamista varten.
Päästöt: Puhdistettu kaasu puretaan ilmakehään indusoituneen tuulettimen avulla. II. Ydinominaisuudet ja edut
Korkea turvallisuus: Laimennussäätö + liekinvalvonta + hätäsammutus, SiH₄:n itsesyttymis-/räjähdysvaara;
Korkea puhdistusteho: SiH₄-hajoamisnopeus ≥99,9 % (jopa 99,99 % huippuluokan malleissa), eliminoi täysin myrkyllisten ja syttyvien aineiden vaarat;
Tukkeutumista estävä rakenne: Monivaiheinen pölynpoisto + takaisinhuuhtelu, joka ratkaisee ongelman, jonka mukaan SiO₂-pöly tukkii helposti putkistoja/suodatinmateriaaleja;
Vahva sopeutumiskyky: Se pystyy käsittelemään sekapakokaasuja, jotka sisältävät SiH₄, NH₃, HF jne., yhteensopiva jatkuvan tuotantoolosuhteiden kanssa puolijohde-/aurinkosähköteollisuudessa.
2. Pääsovellusskenaariot
Puolijohdekiekkojen valmistus (CVD/PECVD-epitaksi, hapetus, kerrostusprosessit);
Aurinkokennot/valosähkömoduulit (kiteinen piikennopinnoitus, pinnoitus);
LED/näyttöpaneelit (MOCVD-, PECVD-prosessit);
SiH₄-pakokaasujen käsittely muilla teollisuudenaloilla, kuten piipohjaiset ohutkalvot ja erikoiskaasujen valmistus.
3. Tärkeimmät suunnittelu-, käyttö- ja huoltokohdat
Turvallisuus ennen kaikkea: Sisältää LEL-lukitus, liekinvalvonta, ylilämpötilahälytys, typen tyhjennys/hätäpoisto;
Tukkeutumisen estävä ydin: Polttokammion virtauskentän järkevä suunnittelu, korkeita lämpötiloja kestävien suodatinmateriaalien valinta + säännöllinen takaisinhuuhtelu SiO₂:n kertymisen estämiseksi;
Materiaalin valinta: Hastelloy/310S korkean lämpötilan vyöhykkeille, PP/FRP/fluorivuoratut materiaalit vyöhykkeiden pesuun, mikä varmistaa korroosionkestävyyden ja korkeiden lämpötilojen kestävyyden;
Käyttö ja huolto: Säännöllinen pölynpuhdistus, polttimien/liekkiilmaisimien tarkastus ja valvontalaitteiden kalibrointi jatkuvan ja vakaan toiminnan varmistamiseksi.
Lisätietojen
aliakset: silaanin polttosylinteri, silaanin hätäpolttotorni, silaanipakokaasujen poltto- ja puhdistustorni;
Ero tavallisiin RTO-/polttolaitoksiin: Suunniteltu erityisesti SiH₄:n korkeaan syttyvyyteen ja räjähdysvaaraan, ja siinä korostetaan esilaimennusta, vakaata palamista, tukkeutumisen estoa ja räjähdysten ehkäisyä yleisen VOC-polton sijaan;
Vaatimustenmukaisuus: Täyttää standardit, kuten 'Comprehensive Emission Standard for Pollutants' ja 'Emission Standard for Pollutants from the Semiconductor Industry', mikä tekee siitä valtavirran yhteensopivan ratkaisun SiH₄-pakokaasujen käsittelyyn.
Absorptiotorni on pitkänomainen pystysuora pylväs, jota käytät kaasujen imemiseen eri teollisuudenaloilla. Se kuuluu teollisuuden jätekaasujen käsittelyyn.
Toimialat
Happosumun
Konsultointi
