1. خصائص السيلان الأساسية
: SiH₄ عديم اللون، عديم الرائحة، وقابل للاشتعال للغاية. يمكن أن يشتعل تلقائيًا في الهواء (درجة حرارة الاشتعال الذاتي منخفضة). تفاعل الاحتراق هو:
SiH4 + 2O2 --- درجة حرارة عالية/اشتعال ذاتي --- SiO2 (غبار) + 2H2O
يطلق هذا التفاعل كمية كبيرة من الحرارة؛ إذا كان التركيز غير متحكم فيه، فيمكن أن ينفجر بسهولة. ولذلك، من الضروري التخفيف الخاضع للرقابة والاحتراق القسري.
عملية العمل (النموذجية)
قبل التخفيف: يتم أولاً خلط غاز العادم مع النيتروجين/الهواء للتحكم في تركيز SiH₄ أقل من 25% من الحد الأدنى للانفجار (LEL)، مما يزيل خطر الحريق.
حرق غرفة الاحتراق: يدخل الخليط إلى غرفة احتراق ذات درجة حرارة عالية (أعلى من 800 درجة مئوية، وعادة ما تكون مجهزة بإشعال ومثبت اللهب)، حيث يتم حرق SiH₄ بالكامل ويتحلل إلى غبار SiO₂ وبخار الماء.
التنقية بعد المعالجة:
فصل إعصاري + أنابيب مرشح سيراميكية/تجميع غبار الكيس لالتقاط غبار SiO₂ الصغير (منع الانسداد والانبعاثات)؛
الغسل بالرش (اختياري): يزيل الغازات الحمضية الثانوية (مثل HF، وHCl)، والأمونيا، وما إلى ذلك، ويعادلها من أجل التفريغ المتوافق.
الانبعاث: يتم تفريغ الغاز المنقى في الغلاف الجوي بواسطة مروحة سحب مستحثة. ثانيا. الميزات والمزايا الأساسية
أمان عالي: التحكم في التخفيف + مراقبة اللهب + إيقاف الطوارئ، معالجة خطر الاشتعال الذاتي/الانفجار لـ SiH₄؛
كفاءة تنقية عالية: معدل تحلل SiH₄ ≥99.9% (يصل إلى 99.99% للنماذج المتطورة)، مما يزيل تمامًا مخاطر المواد شديدة السمية والقابلة للاشتعال؛
تصميم مضاد للانسداد: إزالة الغبار متعدد المراحل + التنظيف العكسي، مما يحل مشكلة غبار SiO₂ الذي يسد خطوط الأنابيب/مواد التصفية بسهولة؛
القدرة على التكيف القوية: يمكن التعامل مع غازات العادم المختلطة التي تحتوي على SiH₄، NH₃، HF، وما إلى ذلك، متوافقة مع ظروف الإنتاج المستمر في صناعات أشباه الموصلات/الخلايا الكهروضوئية.
2. سيناريوهات التطبيق الرئيسية
تصنيع رقائق أشباه الموصلات (CVD/PECVD، عمليات الأكسدة والترسيب)؛
الخلايا الشمسية/الوحدات الكهروضوئية (ترسيب خلايا السيليكون البلورية، والطلاء)؛
لوحات LED/العرض (عمليات MOCVD، PECVD)؛
معالجة غاز العادم SiH₄ في صناعات أخرى مثل الأغشية الرقيقة القائمة على السيليكون وإعداد الغاز الخاص.
3. السلامة في نقاط التصميم والتشغيل والصيانة الرئيسية
أولاً: يجب أن تشمل تشابك الحد الأدنى من الانفجار، ومراقبة اللهب، وإنذار درجة الحرارة الزائدة، وتطهير النيتروجين/تنفيس الطوارئ؛
قلب مضاد للانسداد: تصميم معقول لمجال تدفق غرفة الاحتراق، واختيار مواد الترشيح المقاومة لدرجات الحرارة العالية + التنظيف العكسي المنتظم لمنع تراكم SiO₂؛
اختيار المواد: Hastelloy/310S للمناطق ذات درجة الحرارة العالية، والمواد المبطنة PP/FRP/الفلور لمناطق الغسيل، مما يضمن مقاومة التآكل ومقاومة درجات الحرارة العالية؛
التشغيل والصيانة: تنظيف الغبار بانتظام، وفحص الشعلات/أجهزة كشف اللهب، ومعايرة أدوات المراقبة لضمان التشغيل المستمر والمستقر. الأسماء
المستعارة للمعلومات التكميلية
: أسطوانة احتراق السيلان، وبرج احتراق سيلاني للطوارئ، وبرج حرق وتنقية غاز عادم السيلاني؛
الفرق عن محارق RTO/المحارق العادية: مصممة خصيصًا لقابلية الاشتعال العالية ومخاطر الانفجار لـ SiH₄، مع التركيز على التخفيف المسبق، والاحتراق المستقر، ومكافحة الانسداد، ومنع الانفجار، بدلاً من حرق المركبات العضوية المتطايرة بشكل عام؛
الامتثال: يفي بمعايير مثل 'معيار الانبعاثات الشامل لملوثات الهواء' و 'معيار الانبعاث للملوثات من صناعة أشباه الموصلات'، مما يجعله حلاً متوافقًا مع التيار لمعالجة غاز العادم SiH₄.
برج الامتصاص عبارة عن عمود رأسي ممدود ستستخدمه لامتصاص الغازات في الصناعات المختلفة. وهو ينتمي إلى معالجة غاز النفايات الصناعية.
الصناعات المخدومة:
الرذاذ الحمضي
استشارة