Bu sistem yapılmıştır . yüksek kaliteli paslanmaz çelikten , zorlu çalışma koşullarında mükemmel korozyon direnci, uzun hizmet ömrü ve istikrarlı performans sağlayan
dayanan Silanın (SiH₄) havayla temas ettiğinde kendiliğinden yanma özelliğine sistem, bu reaksiyondan tam olarak yararlanacak şekilde tasarlanmıştır. Silan içeren egzoz gazı yanma odasına girdiğinde hava ile karışarak otomatik olarak tutuşur ve tehlikeli bileşenleri tamamen oksitleyip ayrıştırır.
 |
 |
Yanma ürünleri daha sonra paketleme katmanından geçer gaz akışının eşit olarak dağıtıldığı ve sprey temizleme bölümüne girmeden önce daha da soğutulduğu bir . Bu odada egzoz gazı, nötr dolaşımdaki sıvıyla tam temasa geçer ve artık yabancı maddeleri ve çözünebilir gazları etkili bir şekilde ortadan kaldıran bir kimyasal nötrleştirme işleminden geçer.
Fırçalamanın ardından arıtılmış gaz, dehidrasyon ünitesine akar. Son olarak, arıtılmış gaz, temiz ve kuru bir egzoz sağlamak üzere nemin ayrıldığı ve uzaklaştırıldığı bir bir egzoz fanı aracılığıyla güvenli bir şekilde atmosfere boşaltılır yüksek verimli ve yanmadan saflaştırmaya kadar tamamen kapalı ve otomatik bir süreç tamamlanır.
 |
 |
Kompakt tasarımı , istikrarlı çalışması ve üstün arıtma verimliliğiyle bu sistem, yalnızca silanı ve diğer yanıcı gazları etkili bir şekilde ortadan kaldırmakla kalmaz, aynı zamanda güvenliği, güvenilirliği ve çevresel performansı da önemli ölçüde artırır . için ideal bir egzoz arıtma çözümü olarak hizmet vermektedir. Güneş pili üretimi ve yarı iletken CVD süreçleri .
 |
|
