Ang sistemang ito ay ginawa mula sa mataas na grado na hindi kinakalawang na asero , na tinitiyak ang mahusay na paglaban sa kaagnasan, mahabang buhay ng serbisyo, at matatag na pagganap sa ilalim ng malupit na mga kondisyon sa pagpapatakbo.
Batay sa spontaneous combustion property ng silane (SiH₄) sa pakikipag-ugnay sa hangin , ang sistema ay idinisenyo upang ganap na magamit ang reaksyong ito. Kapag ang silane-containing exhaust gas ay pumasok sa combustion chamber , humahalo ito sa hangin at awtomatikong nag-aapoy, ganap na nag-o-oxidize at nabubulok ang mga mapanganib na sangkap.
 |
 |
Ang mga produkto ng pagkasunog pagkatapos ay dumaan sa isang layer ng pag-iimpake , kung saan ang daloy ng gas ay pantay na ipinamahagi at higit pang pinalamig bago pumasok sa seksyon ng spray scrubbing . Sa silid na ito, ang tambutso na gas ay ganap na nadikit sa isang neutral na umiikot na likido , sumasailalim sa isang proseso ng pagneutralize ng kemikal na epektibong nag-aalis ng mga natitirang dumi at mga natutunaw na gas.
Pagkatapos mag-scrub, ang ginagamot na gas ay dumadaloy sa isang dehydration unit , kung saan ang moisture ay pinaghihiwalay at inaalis upang matiyak ang malinis at tuyo na tambutso. Sa wakas, ang na-purified na gas ay ligtas na nailalabas sa atmospera sa pamamagitan ng isang high-efficiency na exhaust fan , na kumukumpleto ng isang ganap na nakapaloob at automated na proseso mula sa pagkasunog hanggang sa paglilinis.
 |
 |
Sa pamamagitan ng compact na disenyo nito , matatag na operasyon, at superyor na kahusayan sa purification , ang sistemang ito ay hindi lamang nag-aalis ng silane at iba pang mga nasusunog na gas nang epektibo ngunit makabuluhang pinahuhusay din ang kaligtasan, pagiging maaasahan, at pagganap sa kapaligiran . Nagsisilbi itong perpektong solusyon sa paggamot sa tambutso para sa paggawa ng solar cell at mga proseso ng semiconductor CVD.
 |
|
