Tämä järjestelmä on valmistettu korkealaatuisesta ruostumattomasta teräksestä , mikä varmistaa erinomaisen korroosionkestävyyden, pitkän käyttöiän ja vakaan suorituskyvyn ankarissa käyttöolosuhteissa.
Perustuen silaanin (SiH4) itsestään syttymisominaisuuteen joutuessaan kosketuksiin ilman kanssa , järjestelmä on suunniteltu hyödyntämään täysin tätä reaktiota. Kun silaanipitoinen pakokaasu tulee palotilaan , se sekoittuu ilman kanssa ja syttyy automaattisesti hapettaen ja hajottaen vaaralliset komponentit kokonaan.
Palamistuotteet kulkevat sitten tiivistekerroksen läpi , jossa kaasuvirtaus jakautuu tasaisesti ja jäähtyy edelleen ennen kuin ne tulevat ruiskupesuun . Tässä kammiossa pakokaasu tulee täysin kosketukseen neutraalin kiertävän nesteen kanssa , ja se käy läpi kemiallisen neutralointiprosessin, joka poistaa tehokkaasti jäännösepäpuhtaudet ja liukoiset kaasut.
Puhdistuksen jälkeen käsitelty kaasu virtaa kuivausyksikköön , jossa kosteus erotetaan ja poistetaan puhtaan ja kuivan pakokaasun varmistamiseksi. Lopuksi puhdistettu kaasu poistetaan turvallisesti ilmakehään tehokkaan poistotuulettimen kautta , mikä saattaa loppuun täysin suljetun ja automatisoidun prosessin palamisesta puhdistukseen.
ansiosta Kompaktin rakenteen, vakaan toiminnan ja erinomaisen puhdistustehokkuuden tämä järjestelmä ei ainoastaan poista silaania ja muita palavia kaasuja tehokkaasti, vaan myös parantaa merkittävästi turvallisuutta, luotettavuutta ja ympäristönsuojelun tasoa . Se toimii ihanteellisena pakokaasujen käsittelyratkaisuna aurinkokennojen valmistukseen ja puolijohde-CVD-prosesseihin.