Este sistema é construído em aço inoxidável de alta qualidade , garantindo excelente resistência à corrosão, longa vida útil e desempenho estável sob condições operacionais adversas.
Com base na propriedade de combustão espontânea do silano (SiH₄) em contato com o ar , o sistema foi projetado para utilizar totalmente essa reação. Quando os gases de escape contendo silano entram na câmara de combustão , eles se misturam com o ar e entram em ignição automaticamente, oxidando e decompondo completamente os componentes perigosos.
Os produtos da combustão passam então através de uma camada de empacotamento , onde o fluxo de gás é distribuído uniformemente e ainda mais resfriado antes de entrar na seção de lavagem por pulverização . Nesta câmara, os gases de exaustão entram em pleno contato com um líquido neutro circulante , passando por um processo de neutralização química que remove efetivamente impurezas residuais e gases solúveis.
Após a lavagem, o gás tratado flui para uma unidade de desidratação , onde a umidade é separada e removida para garantir uma exaustão limpa e seca. Finalmente, o gás purificado é descarregado com segurança na atmosfera através de um exaustor de alta eficiência , completando um processo totalmente fechado e automatizado desde a combustão até a purificação.
Com seu design compacto, operação estável e eficiência de purificação superior , este sistema não apenas remove o silano e outros gases combustíveis de forma eficaz, mas também aumenta significativamente a segurança, a confiabilidade e o desempenho ambiental . Ele serve como uma solução ideal de tratamento de exaustão para fabricação de células solares e processos CVD de semicondutores.
