Sistem ini dibuat dari baja tahan karat bermutu tinggi , memastikan ketahanan korosi yang sangat baik, masa pakai yang lama, dan kinerja yang stabil dalam kondisi pengoperasian yang keras.
Berdasarkan sifat pembakaran spontan silan (SiH₄) setelah kontak dengan udara , sistem dirancang untuk memanfaatkan reaksi ini sepenuhnya. Ketika gas buang yang mengandung silan memasuki ruang bakar , gas tersebut bercampur dengan udara dan terbakar secara otomatis, mengoksidasi sepenuhnya dan menguraikan komponen berbahaya.
 |
 |
Produk pembakaran kemudian melewati lapisan pengepakan , dimana aliran gas didistribusikan secara merata dan selanjutnya didinginkan sebelum memasuki bagian scrubbing semprot . Di ruang ini, gas buang bersentuhan penuh dengan cairan netral yang bersirkulasi , menjalani proses netralisasi kimia yang secara efektif menghilangkan sisa kotoran dan gas terlarut.
Setelah digosok, gas yang telah diolah dialirkan ke unit dehidrasi , tempat kelembapan dipisahkan dan dibuang untuk memastikan pembuangan bersih dan kering. Terakhir, gas yang dimurnikan dibuang dengan aman ke atmosfer melalui kipas buang berefisiensi tinggi , menyelesaikan proses yang sepenuhnya tertutup dan otomatis mulai dari pembakaran hingga pemurnian.
 |
 |
Dengan desainnya yang ringkas, pengoperasian yang stabil, dan efisiensi pemurnian yang unggul , sistem ini tidak hanya menghilangkan silan dan gas mudah terbakar lainnya secara efektif namun juga secara signifikan meningkatkan keselamatan, keandalan, dan kinerja lingkungan . Ini berfungsi sebagai solusi pengolahan gas buang yang ideal untuk pembuatan sel surya dan proses CVD semikonduktor.
 |
|
