Tiếng Việt
Hệ thống này được chế tạo từ thép không gỉ cao cấp , đảm bảo khả năng chống ăn mòn tuyệt vời, tuổi thọ dài và hiệu suất ổn định trong điều kiện vận hành khắc nghiệt.
Dựa trên đặc tính tự cháy của silan (SiH₄) khi tiếp xúc với không khí , hệ thống được thiết kế để tận dụng tối đa phản ứng này. Khí thải chứa silan khi đi vào buồng đốt sẽ hòa trộn với không khí và tự động bốc cháy, oxy hóa và phân hủy hoàn toàn các thành phần nguy hiểm.
 |
 |
Các sản phẩm đốt sau đó đi qua một lớp đóng gói , nơi dòng khí được phân bố đều và được làm mát thêm trước khi đi vào khu vực phun rửa . Trong buồng này, khí thải tiếp xúc hoàn toàn với chất lỏng tuần hoàn trung tính , trải qua quá trình trung hòa hóa học giúp loại bỏ hiệu quả các tạp chất còn sót lại và khí hòa tan.
Sau khi lọc, khí đã xử lý sẽ chảy vào thiết bị khử nước , nơi hơi ẩm được tách ra và loại bỏ để đảm bảo khí thải khô, sạch. Cuối cùng, khí tinh khiết được thải vào khí quyển một cách an toàn thông qua quạt hút hiệu suất cao , hoàn thành quy trình hoàn toàn khép kín và tự động từ quá trình đốt cháy đến tinh chế.
 |
 |
Với thiết kế nhỏ gọn, hoạt động ổn định và hiệu suất lọc vượt trội , hệ thống này không chỉ loại bỏ silane và các loại khí dễ cháy khác một cách hiệu quả mà còn tăng cường đáng kể độ an toàn, độ tin cậy và hiệu quả môi trường . Nó phục vụ như một giải pháp xử lý khí thải lý tưởng cho các quy trình CVD bán dẫn và sản xuất pin mặt trời.
 |
|
