Torre de combustión de silano

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Torre de combustión de silano

La torre de combustión de silano es un dispositivo de seguridad fundamental que se utiliza para el tratamiento eficiente y seguro del gas residual de silano (SiH₄). El silano se utiliza ampliamente en industrias como la de fabricación fotovoltaica, semiconductores y electrónica, pero su naturaleza inflamable y explosiva requiere soluciones de tratamiento confiables.


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Torre de combustión de silano Torre del quemador de silano Tratamiento de gases residuales de silano Sistema de combustión de escape de silano

Descripción del Producto

Información detallada

Precauciones

La torre de combustión de silano es un sistema de purificación diseñado para tratar gases de escape solubles como silano y amoníaco producidos en líneas de producción de células solares y procesos de deposición química de vapor (CVD). Su principio de funcionamiento utiliza las características de combustión espontánea del silano cuando se expone al aire. El gas de escape se dirige primero a una cámara de combustión para su combustión, luego el gas quemado ingresa a una torre de purificación, donde se somete a un tratamiento secundario mediante absorción por pulverización con líquido neutralizante. Finalmente, el gas purificado se descarga a través de un extractor de aire después de cumplir con los estándares de emisiones.

Funciones y roles principales

Purificación de gases de escape: Elimina eficientemente gases tóxicos y nocivos como silano y amoníaco para garantizar que las emisiones cumplan con las regulaciones ambientales.
Purificación secundaria: después de la combustión, los gases de escape ingresan a la torre de purificación para ser lavados por aspersión y absorbidos por empaque para eliminar aún más los contaminantes residuales.
Tratamiento Seguro: Transforma gases peligrosos en sustancias inofensivas mediante combustión y absorción, garantizando la seguridad operativa.

Principio de funcionamiento

Combustión: los gases de escape de silano ingresan a la cámara de combustión a través de tuberías, donde se encienden espontáneamente al entrar en contacto con el aire.
Absorción: el gas quemado fluye hacia la torre de purificación y entra en contacto completo con la solución neutralizante rociada (como el líquido neutralizante circulante) para la absorción a contracorriente.
Pulverización: La torre de purificación incluye una cámara de pulverización que utiliza bombas para pulverizar el líquido neutralizante, asegurando un contacto eficiente entre gas y líquido.
Deshidratación: el gas tratado pasa a través de un desempañador antes de ser descargado por un extractor de aire.

Características clave

Resistencia a la corrosión: Generalmente construido con acero inoxidable para una excelente resistencia a la corrosión.
Alta resistencia: la estructura robusta garantiza un funcionamiento estable a largo plazo.
Alta eficiencia: Ofrece un alto rendimiento de purificación que cumple con estrictos estándares ambientales.
Seguridad: Equipado con ventiladores duales (uno en uso, otro en espera) y un sistema de suministro de agua de emergencia para mejorar la confiabilidad y seguridad.

Sistema de combustión de escape de silano

Industrias aplicables

Líneas de producción de células solares.
Líneas de proceso de deposición química de vapor (CVD)

Torre de combustión de silano de acero inoxidable.	Número de tipo	CRS－1	CRS-2	CRS-3	CRS － 4	CRS － 5	CRS-6	CRS yendo 7	CRS yendo 8	CRS yendo 9	CRS yendo 10	CRS-Ⅱ-2	CRS-Ⅱ-4	CRS-Ⅲ-4	CRS-Ⅳ-4
	Volumen de aire tratado m3/h	~200	~400	~600	~800	~1000	~1200	~1400	~1600	~1800	~2000	~3500	~7000	~10000	~15000
	Resistencia del equipo Pa	400
	Tasa de eliminación de silano %	≥99,99
	Tasa de eliminación de amoníaco %	≥99,99
	Volumen de aire comprimido L/min	400										600	1000	1500	2000
	Contenido de nitrógeno L/min	200										300	500	800	1000
Seleccione el distribuidor de aire	Número de tipo	3A	3A	3A	3A	3.5A/5.5A	3.5A/5.5A	3.5A/5.5A	3.5A/5.5A	3.5A/5.5A	3.5A/5.5A	4A	4A	6A	6C
	Potencia del motor kw	1.5	1.5	1.5	1.5	3/2.2	3/2.2	3/2.2	3/2.2	3/2.2	3/2.2	5.5	5.5	4	7.5
	Velocidad del motor rpm	2900				2900/1450						2900	2900	2900	1800
bomba circuladora	Número de tipo	KP40-1	KP40-2	KD40-3	KD50-3	KD50-3	KD50-3	KD50-3	KD50-3	KD50-3	KD50-3	KD50-3 KP40-1	KD50-3 KP40-1	KD50-5 KP40-1	KD65-5 KP40-1
	Potencia del motor kw	0.75	1	2.2	2.2	2.2	2.2	2.2	2.2	2.2	2.2	2,2/0,75	2,2/0,75	3,75/0,75	3,75/0,75
	Velocidad del motor rpm	2900
Fuente de energía	Tensión eléctrica V	AC380
Fuente de energía	frecuenciaHz	50
Aspecto y dimensiones de montaje.	Diámetro de la torre	1200	1200	1200	1200	1400	1400	1400	1400	1400	1400	1400×1900	1400×2400	1400×2400	1400×2800
	Diámetro de escape D1	350	350	350	350	350	350	350	350	350	350	350	350×2	350×2	400×2
	Diámetro de entrada D2×n(a)	65×1	65×2	65×3	65×4	65×5	65×6	65×7	65×8	65×9	65×10	150×2	150×4	200×4	250×4
	Tubo de salida D3	400	400	400	400	400	400	400	400	400	400	400	500	500	600
	Entrada de aire fresco	100×100												200×200
	torre de perforación A×A	2100×2100												2400×2400
	Altura de la torre H	2800
	h1	500
	h1	750
	h3	≥400
	L1	2800	2800	2800	2800	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3500	3500	3500	3500
	L2	6000	6000	6000	6000	7000	7000	7000	7000	7000	7000	7000	7000	7000	7000
	L3	2800	2800	2800	2800	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3500	3500	3500	3500
	L4	7000	7000	7000	7000	8000	8000	8000	8000	8000	8000	9000	9000	9000	9000

Sistema de control y precauciones.

● La torre de purificación por combustión de silano de acero inoxidable debe garantizar una presión negativa de aproximadamente 200 Pa.

● Se debe instalar un cilindro de combustión de emergencia detrás de la bomba de vacío del equipo PECVD (consulte el diagrama de flujo del equipo).

● La torre de purificación por combustión de silano de acero inoxidable debe adoptar un nuevo proceso, extracción de aire con doble ventilador, uno de uso y otro de reserva.

● La válvula reguladora eléctrica de la entrada del ventilador debe estar conectada con el ventilador.

● Se debe instalar una válvula de disco antes de la entrada de aire del ventilador para controlar la presión negativa en el dispositivo de purificación por combustión de silano.

● La salida de suministro de aire fresco del dispositivo de purificación por combustión de silano debe estar equipada con una válvula reguladora.

● Se deben conectar 1 ~ 1,5 metros fuera de la interfaz del tubo de entrada mediante un puerto desmontable para evitar la eliminación de residuos de la caja de combustión.