Kontrol sistemi ve önlemler
● Paslanmaz çelik silan yanma arıtma kulesi yaklaşık 200Pa'lık negatif basınç sağlamalıdır.
● PECVD ekipmanının vakum pompasının arkasına bir acil durum yanma silindiri takılmalıdır (ekipman akış şemasına bakın).
● Paslanmaz çelik silan yanmalı arıtma kulesi, çift fanlı hava çıkışı, tek kullanımlı ve yedekli olmak üzere yeni bir prosesi benimsemelidir.
● Fan girişinin elektrik ayar vanası fana bağlanmalıdır.
● Silan yanma arıtma cihazındaki negatif basıncı kontrol etmek için fanın hava girişinden önce disk vana takılmalıdır.
● Silan yanma arıtma cihazının temiz hava besleme çıkışında bir ayar vanası bulunmalıdır.
● Yanma kutusundan döküntülerin çıkmasını önlemek için, giriş borusu arayüzünün 1 ~ 1,5 metre dışında, sökülebilir bir port ile bağlanmalıdır.