Ohjausjärjestelmä ja varotoimet
● Ruostumattomasta teräksestä valmistetun silaanin polttopuhdistustornin on varmistettava noin 200 Pa alipaine.
● PECVD-laitteiden tyhjiöpumpun taakse on asennettava hätäpolttosylinteri (katso laitteen vuokaavio).
● Ruostumattomasta teräksestä valmistetun silaanin polttopuhdistustornin on otettava käyttöön uusi prosessi, kaksinkertainen tuulettimen ilmanpoisto, yksi käyttö ja yksi valmiustila.
● Tuulettimen tuloaukon sähköinen säätöventtiili on liitettävä puhaltimeen.
● Ennen puhaltimen ilmanottoa on asennettava kiekkoventtiili, joka ohjaa silaanin polttopuhdistuslaitteen alipainetta.
● Silaanipolttopuhdistuslaitteen raitisilman tuloaukko on varustettava säätöventtiilillä.
● 1–1,5 metriä tuloputken liitännän ulkopuolella on yhdistettävä irrotettavalla portilla, jotta estetään roskien poistuminen polttolaatikosta.