Sistema ng kontrol at pag-iingat
● Hindi kinakalawang na asero silane combustion purification tower ay dapat tiyakin ang negatibong presyon ng humigit-kumulang 200Pa.
● Ang isang emergency combustion cylinder ay dapat na naka-install sa likod ng vacuum pump ng PECVD equipment (tingnan ang equipment flow chart).
● Hindi kinakalawang na asero silane combustion purification tower ay dapat magpatibay ng isang bagong proseso, double fan air extraction, isang paggamit ng isang standby.
● Ang electric regulating valve ng fan inlet ay dapat na naka-link sa fan.
● Dapat na naka-install ang disc valve bago ang air inlet ng fan para makontrol ang negatibong pressure sa silane combustion purification device.
● Silane combustion purification device na ang saksakan ng sariwang hangin ay dapat na nilagyan ng regulating valve.
● 1 ~ 1.5 metro sa labas ng interface ng inlet pipe ay dapat na konektado sa pamamagitan ng isang dismountable port upang maiwasan ang pag-alis ng mga debris mula sa combustion box.