Torre de combustão de silano

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Torre de combustão de silano

A Torre de Combustão de Silano é um dispositivo de segurança crítico usado para o tratamento eficiente e seguro de gases residuais de silano (SiH₄). O silano é amplamente utilizado em indústrias como fabricação fotovoltaica, semicondutores e eletrônica, mas sua natureza inflamável e explosiva requer soluções de tratamento confiáveis.


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Torre de combustão de silano Torre do Queimador de Silano Tratamento de gases residuais de silano Sistema de combustão de exaustão de silano

Descrição do produto

Informações detalhadas

Precauções

A Torre de Combustão de Silano é um sistema de purificação projetado para tratar gases de exaustão solúveis, como silano e amônia, produzidos em linhas de produção de células solares e processos de Deposição Química de Vapor (CVD). Seu princípio de funcionamento utiliza as características de combustão espontânea do silano quando exposto ao ar. O gás de exaustão é primeiramente direcionado para uma câmara de combustão para queima, depois o gás queimado entra em uma torre de purificação, onde passa por tratamento secundário através de absorção por spray com líquido neutralizante. Finalmente, o gás purificado é descarregado através de um exaustor após atender aos padrões de emissão.

Principais funções e funções

Purificação de gases de escape: Remove com eficiência gases tóxicos e prejudiciais, como silano e amônia, para garantir que as emissões atendam às regulamentações ambientais.
Purificação Secundária: Após a combustão, o gás de exaustão entra na torre de purificação para lavagem por pulverização e absorção de embalagem para eliminar ainda mais os poluentes residuais.
Tratamento Seguro: Transforma gases perigosos em substâncias inofensivas por meio de combustão e absorção, garantindo segurança operacional.

Princípio de funcionamento

Combustão: O gás de exaustão do silano entra na câmara de combustão através de tubulações, onde se inflama espontaneamente ao entrar em contato com o ar.
Absorção: O gás queimado flui para a torre de purificação e entra em contato total com a solução neutralizante pulverizada (como o líquido neutralizante circulante) para absorção em contracorrente.
Pulverização: A torre de purificação inclui uma câmara de pulverização que utiliza bombas para pulverizar o líquido neutralizante, garantindo um contato gás-líquido eficiente.
Desidratação: O gás tratado passa por um desembaçador antes de ser descarregado por um exaustor.

Principais recursos

Resistência à corrosão: Normalmente construído em aço inoxidável para excelente resistência à corrosão.
Alta resistência: A estrutura robusta garante uma operação estável a longo prazo.
Alta Eficiência: Oferece alto desempenho de purificação atendendo a rígidos padrões ambientais.
Segurança: Equipado com ventiladores duplos (um em uso e outro em espera) e sistema de abastecimento de água de emergência para maior confiabilidade e segurança.

Sistema de combustão de exaustão de silano

Indústrias Aplicáveis

Linhas de produção de células solares
Linhas de processo de Deposição Química de Vapor (CVD)

torre de combustão de silano de aço inoxidável	Digite o número	CRS-1	CRS－2	CRS－3	CRS－4	CRS-5	CRS-6	CRS－7	CRS－8	CRS－9	CRS-10	CRS-Ⅱ-2	CRS-Ⅱ-4	CRS-Ⅲ-4	CRS-Ⅳ-4
	Volume de ar tratado m3/h	~200	~400	~600	~800	~1000	~1200	~1400	~1600	~1800	~2000	~3500	~7.000	~10.000	~15.000
	Resistência do equipamento Pa	400
	Taxa de remoção de silano %	≥99,99
	Taxa de remoção de amônia %	≥99,99
	Volume de ar comprimido L/min	400										600	1000	1500	2000
	Teor de nitrogênio L/min	200										300	500	800	1000
Selecione o distribuidor de ar	Digite o número	3A	3A	3A	3A	3,5A/5,5A	3,5A/5,5A	3,5A/5,5A	3,5A/5,5A	3,5A/5,5A	3,5A/5,5A	4A	4A	6A	6C
	Potência do motor kW	1.5	1.5	1.5	1.5	3/2.2	3/2.2	3/2.2	3/2.2	3/2.2	3/2.2	5.5	5.5	4	7.5
	Velocidade do motor r/min	2900				2900/1450						2900	2900	2900	1800
Bomba circuladora	Digite o número	KP40-1	KP40-2	KD40-3	KD50-3	KD50-3	KD50-3	KD50-3	KD50-3	KD50-3	KD50-3	KD50-3 KP40-1	KD50-3 KP40-1	KD50-5 KP40-1	KD65-5 KP40-1
	Potência do motor kW	0.75	1	2.2	2.2	2.2	2.2	2.2	2.2	2.2	2.2	2,2/0,75	2,2/0,75	3,75/0,75	3,75/0,75
	Velocidade do motor r/min	2900
Fonte de energia	Tensão elétrica V	AC380
Fonte de energia	frequênciaHz	50
Aparência e dimensões de montagem	Diâmetro da torre	1200	1200	1200	1200	1400	1400	1400	1400	1400	1400	1400×1900	1400×2400	1400×2400	1400×2800
	Diâmetro de escape D1	350	350	350	350	350	350	350	350	350	350	350	350×2	350×2	400×2
	Diâmetro de entrada D2×n(a)	65×1	65×2	65×3	65×4	65×5	65×6	65×7	65×8	65×9	65×10	150×2	150×4	200×4	250×4
	Tubo de saída D3	400	400	400	400	400	400	400	400	400	400	400	500	500	600
	Entrada de ar fresco	100×100												200×200
	derrick A×A	2100×2100												2.400×2.400
	Altura da torre H	2800
	h1	500
	h1	750
	h3	≥400
	L1	2800	2800	2800	2800	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3500	3500	3500	3500
	L2	6000	6000	6000	6000	7000	7000	7000	7000	7000	7000	7000	7000	7000	7000
	L3	2800	2800	2800	2800	3000	3000	3000	3000	3000	3000	3500	3500	3500	3500
	L4	7000	7000	7000	7000	8000	8000	8000	8000	8000	8000	9000	9000	9000	9000

Sistema de controle e precauções

● A torre de purificação de combustão de silano em aço inoxidável deve garantir uma pressão negativa de cerca de 200Pa.

● Um cilindro de combustão de emergência deve ser instalado atrás da bomba de vácuo do equipamento PECVD (ver fluxograma do equipamento).

● A torre de purificação de combustão de silano de aço inoxidável deve adotar um novo processo, extração de ar com ventilador duplo, um uso e um modo de espera.

● A válvula reguladora elétrica da entrada do ventilador deve estar ligada ao ventilador.

● Uma válvula de disco deve ser instalada antes da entrada de ar do ventilador para controlar a pressão negativa no dispositivo de purificação de combustão de silano.

● A saída de ar fresco do dispositivo de purificação de combustão de silano deve ser equipada com uma válvula reguladora.

● 1 ~ 1,5 metros fora da interface do tubo de entrada devem ser conectados por uma porta desmontável para evitar a remoção de detritos da caixa de combustão.