کنٹرول سسٹم اور احتیاطی تدابیر
● سٹینلیس سٹیل سائلین کمبشن پیوریفیکیشن ٹاور کو تقریباً 200Pa کے منفی دباؤ کو یقینی بنانا چاہیے۔
● PECVD آلات کے ویکیوم پمپ کے پیچھے ایک ہنگامی دہن سلنڈر نصب کیا جانا چاہیے (سامان کا بہاؤ چارٹ دیکھیں)۔
● سٹینلیس سٹیل سائلین کمبشن پیوریفیکیشن ٹاور کو ایک نیا عمل اپنانا چاہیے، ڈبل پنکھا ہوا نکالنا، ایک استعمال ایک اسٹینڈ بائی۔
● پنکھے کے اندر جانے والے الیکٹرک ریگولیٹنگ والو کو پنکھے کے ساتھ جوڑا جانا چاہیے۔
● سائلین دہن صاف کرنے والے آلے میں منفی دباؤ کو کنٹرول کرنے کے لیے پنکھے کے ایئر انلیٹ سے پہلے ایک ڈسک والو نصب کرنا ضروری ہے۔
● سائلین کمبشن پیوریفیکیشن ڈیوائس تازہ ہوا کی فراہمی کا آؤٹ لیٹ ایک ریگولیٹنگ والو سے لیس ہونا چاہیے۔
● 1 ~ 1.5 میٹر ان لیٹ پائپ انٹرفیس سے باہر ایک ڈسکاؤنٹ ایبل پورٹ سے منسلک ہونا چاہیے تاکہ دہن کے خانے سے ملبے کو ہٹانے سے روکا جا سکے۔