Sistem pengendalian dan tindakan pencegahan
● Menara pemurnian pembakaran silan baja tahan karat harus memastikan tekanan negatif sekitar 200Pa.
● Silinder pembakaran darurat harus dipasang di belakang pompa vakum peralatan PECVD (lihat diagram alur peralatan).
● Menara pemurnian pembakaran silan baja tahan karat harus mengadopsi proses baru, ekstraksi udara kipas ganda, sekali pakai satu siaga.
● Katup pengatur listrik pada saluran masuk kipas harus dihubungkan dengan kipas.
● Katup cakram harus dipasang sebelum saluran masuk udara kipas untuk mengontrol tekanan negatif pada perangkat pemurnian pembakaran silan.
● Alat pemurni pembakaran silan, saluran keluar pasokan udara segar harus dilengkapi dengan katup pengatur.
● 1 ~ 1,5 meter di luar antarmuka pipa saluran masuk harus dihubungkan dengan port yang dapat diturunkan untuk mencegah pembuangan kotoran dari kotak pembakaran.